多功能pecvd系统
产品特点1.该设备生长温度更低2.使用滑轨炉实现快速升温和降温,沉积速率快3.设备辉光均匀等效,均匀生长,成膜质量好4.支持外部真空规和压力变送器5.支持智能进气,根据需要设定不同的温度,自动进气,进气定时间到后自动停止进气6.支持云端数据存储,随时查看数据7.支持炉膛移动速度调节8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止9.支持压力恒定,压力可以设定10.支持c压保护,大压力值可以设定,c过后系统自动进入保护
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