电子净化车间

    微电子或制药设施（即HVAC管道，公用设施和管道系统）中的机械和工艺服务密度可能会导致拥挤的技术空间。因此，必须将灵活性整合到净化车间的整体设计中，以便适应净化车间的扩展和改造以及新设备和工具的集成。与此要求相辅相成的是，需要快速更换设备以大限度地减少停机时间，降低成本并大限度地减少任何污染机会，从而提高生产率。如果净化车间的设计考虑了可扩展性和灵活性，那么未来变化的成本将会降低。
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